산화 공정
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반도체 산화 공정(Oxidation), 반도체 8대 공정에 대해 알아보자반도체_바다 2018. 7. 9. 02:11
산화 공정은 다른 공정들과 달리 반도체 웨이퍼의 표면을 보호하기 위한 공정이에요. 중요하지 않다고 생각할 수도 있지만 우리가 필요로하는 산화막을 형성해주는 공정으로 중요한 역할을 합니다. 오늘은 반도체 8대 공정 웨이퍼, 산화, 포토, 식각, 박막, 금속배선, EDS, 패키징 공정 중 두번째에 해당하는 산화 공정에 대해서 알아보겠습니다. 산화 공정이란? 산화 공정이란 공정에서 발생하는 여러 불순물로부터 웨이퍼의 표면을 보호하는 막을 생성하는 과정입니다. 이떄의 산화막은 절연체로써 회로와 회로 사이 누설 전류가 흐르는 것을 막아줍니다. 또한, 이후에 진행되는 식각 공정에서 원하지 않는 부분이 식각되지 않도록 식각 방지막 역할도 하게 됩니다. 이렇게 웨이퍼의 표면을 산화막을 통해 보호해줌으로써 많은 역할을 ..